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중공축형 모터

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  • DD 모터
  • - Size : Ø135 ~ Ø360
    - 용량 : 63[W] ~ 2.51[kW]
    - 정격 Torque : 3[N·m] ~ 160[N·m]
    - 정격속도 : 100[rpm] ~ 300[rpm]
    - Encoder : Serial 20bit
    - 특징 : 저속 고토크 특성
    - 적용장비 : 반도체장비, 스테이지 등
  • H type
  • - Size : 60Flange ~ 130Flange
    - 용량 : 100[W] ~ 3[kW]
    - 정격 Torque : 0.32[N·m] ~ 9.55[N·m]
    - 정격속도 : 3000 & 5000[rpm]
    - Encoder : Incremental type
    - Spinner Motor : 8”, 12”
    - 적용장비 : 반도체장비
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